外延爐一覽
? 筒式外延爐MT7700、MT7811K
? RF平板式外延爐
? 單片式外延爐
? LPE3061&LPE2061 外延爐
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MT系列外延爐性能
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單片式外延爐性能
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RF平板式外延爐性能
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? 良好的表面質(zhì)量和無滑移線
? 爐內(nèi)厚度均勻性±5%
? 爐內(nèi)電阻均勻性±5%
? 過渡區(qū)窄
? 減壓外延
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? 良好的厚度和電阻率均勻性
? 超強的加工能力
? 薄外延加工能力
? 8英寸外延片加工能力
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? 高產(chǎn)出
? 過渡區(qū)窄
? 良好的厚度和電阻率均勻性
? 大尺寸和雙腔體設(shè)計
? 厚外延加工能力
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外延設(shè)備一覽
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Centura機臺
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CSD
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LPE 3061
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ASM E2000
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外延測試設(shè)備
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公司具有一套完備先進的外延表征設(shè)備，以確保外延片的質(zhì)量達到客戶的要求。
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MCV530
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SSM495Hg-Probe CV System
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CDE 4-Point Probe
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Surface scan SP1
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QS2200M Accent FTIR
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ADE 9300
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SSM SRP 2000
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Agilent ICP MS7500CS
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OLYMPUS MX50
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外延輔助設(shè)備
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日產(chǎn)130噸的超純水系統(tǒng)。所產(chǎn)純水電阻率達18.2MΩ，顆粒度和TOC含量極低，達到 國內(nèi)領(lǐng)先水平。
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美國Verteq公司的清洗設(shè)備。結(jié)合了超稀化學溶液和先進的兆聲清洗技術(shù)，可高效 去除晶片表面的顆粒、痕量金屬和有
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新傲科技采用SIMOX，BONDING，SIMBOND和SSS四種工藝，利用先進設(shè)備來制備SOI材料，以確保圓片能夠達到國際半導(dǎo)體標準，并能夠滿足當今世界主流IC生產(chǎn)線的要求。 依靠強大而持續(xù)的技術(shù)支持，整合國產(chǎn)化襯底片良好的性價比以及強大而靈活的加工能力優(yōu)勢，向客戶提供專業(yè)化的外延服務(wù)。
